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工具測(cè)量顯微鏡是一種高端的顯微鏡系統(tǒng)，它通常結(jié)合了金相顯微鏡的觀察功能和精確的測(cè)量平臺(tái)，以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的三軸（XYZ）測(cè)量。這種顯微鏡系統(tǒng)特別適用于需要高精度尺寸測(cè)量的行業(yè)，如半導(dǎo)體晶圓尺寸、金線高度、薄膜、LCD，五金工具等。
一、產(chǎn)品介紹
1）顯微鏡類型：手動(dòng)工具測(cè)量顯微鏡;
2）放大倍數(shù)：放大50、100、200、500倍；可以選配1000倍
3）光源類型：5W白光LED燈；
4）視場(chǎng)數(shù)：22mm；
5）照明方式：反射光/透射光；
6）觀察方法：明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC；（具體以配置為準(zhǔn)）
7）微分干涉：DIC微分干涉成像；（選配）
8）輔助聚焦裂相系統(tǒng)；（選配）
9）物鏡轉(zhuǎn)盤：5孔/6孔物鏡轉(zhuǎn)盤；
10）載物臺(tái)結(jié)構(gòu)：三層機(jī)械結(jié)構(gòu)高精度移動(dòng)載物臺(tái)；
11）測(cè)量行程：詳情見(jiàn)規(guī)格參數(shù)表；
2、高精度手動(dòng)載物臺(tái)
1）平臺(tái)光柵顯示精度值0.5um，可以選配0.1um；
2）XY軸傳動(dòng)方式：手動(dòng)；
3、Z軸為手動(dòng)控制,測(cè)量準(zhǔn)確度
1）Z軸光柵顯示精度值0.5um（可以選配0.1um），測(cè)量精度在3-5um
2）傳動(dòng)方式：手動(dòng)；
二、型號(hào)規(guī)格表
規(guī)格型號(hào) | 測(cè)量行程 | ||
X軸 | Y軸 | Z軸 | |
BT-2015 | 200mm | 150mm | 150mm |
BT-3020 | 300mm | 200mm | 150mm |
BT-4030 | 400mm | 300mm | 150mm |
三、配置參數(shù)
光學(xué)系統(tǒng) | 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng) |
觀察頭 | 30°傾斜，正像，無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm，兩檔分光比 100/0 或 0/100 |
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/22mm，可帶測(cè)微尺 |
轉(zhuǎn)換器 | 內(nèi)定位 5 孔轉(zhuǎn)換器 |
物鏡 | 5X無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相 DIC 物鏡 |
10X無(wú)限遠(yuǎn)超長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相 DIC 物鏡 | |
20X無(wú)限遠(yuǎn)超長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相DIC物鏡 | |
50X無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)明場(chǎng)消色差金相物鏡 | |
100X無(wú)限遠(yuǎn)超長(zhǎng)工作距平場(chǎng)明場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡 | |
放大倍率 | 光學(xué)放大倍率 ：50X-1000X |
系統(tǒng)放大倍率 ：135X-2700 | |
測(cè)量顯微鏡主體 | 手動(dòng)Z軸調(diào)焦，行程以型號(hào)規(guī)格為準(zhǔn)； 測(cè)量精度，X 和 Y ：（2+L/200)μm，L 為測(cè)量長(zhǎng)度（單位 mm） Z:（3+L/200)μm |
照明系統(tǒng) | 明場(chǎng)反射照明器，帶明場(chǎng)照明切換裝置 ；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽，帶 5WLED 燈源，亮度可調(diào)（含托架適配器） |
輔助對(duì)焦模塊，帶對(duì)焦分劃板兩檔 | |
調(diào)焦方式 | 手動(dòng)復(fù)合型粗微調(diào)手輪調(diào)節(jié)，精度0.001mm，調(diào)焦距離 175mm |
偏振光 | 起偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 |
DIC 組件 | 微分干涉組件 |
相機(jī) | 1）630萬(wàn)有效像素; 2）1/1.8"CMOS芯片，單個(gè)像素面積2.4X2.4um; 3）半導(dǎo)體制冷; 4）采用OTC真彩還原技術(shù)，具有優(yōu)良的色彩還原效果； 5）高靈敏度，*短曝光時(shí)間10ms； 6）高速USB3.0數(shù)據(jù)傳輸； 7）標(biāo)準(zhǔn)C-mount視頻接口； |
攝像接口 | 0.65X CTV、C 型接口、可調(diào)焦 |
PC | 戴爾電腦OptiPlex 3050MT操作系統(tǒng)W10處理器芯片I5-10500， 23寸戴爾顯示器 |
軟件 | 1）實(shí)時(shí)影像觀察; 2）實(shí)時(shí)圖像抓取; 3）二維幾何尺寸測(cè)量; 4）測(cè)量結(jié)果報(bào)表輸出; 5）多分辨率切換; |
標(biāo)尺 | 0.01mm |
效果圖
具體配置以實(shí)際確認(rèn)為準(zhǔn)；
